在海宁，一颗“芯”正在强势崛起。

(资料图)

所谓“工欲善其事必先利其器”。制造这颗“芯”，离不开高端的科学仪器。

作为探索未知世界的“望远镜”和“显微镜”，科学仪器和设备往往代表着一个国家、一座城市的科技发展水平。

当前，海宁的科创氛围日渐浓郁，以前“远在天边”的科学仪器变得“近在咫尺”，正渐渐帮助海宁掌握发展的主动权。

科技局一份数据显示，截至目前，全市已征集入库可共享的大型科研仪器设备总计214台，总价值超2亿元。他们广泛覆盖于半导体、特种装备、生命健康等多个产业领域，完美服务于海宁工业制造。

光刻机：制造芯片的核心装备

承载着“海宁硅谷”美誉的鹃湖国际科技城，已成为一批优秀国家级科技企业的孵化器。海宁先进半导体与智能技术研究院（以下简称“海先院”）就坐落于风光秀美的鹃湖科技创新园内。

发布君去的那天，半导体工艺工程师赵吉武和颜刘刚收到了一家温湿度传感器公司传来的芯片图纸。他们接下来的工作，是要根据客户需求，提供订制化的半导体工艺服务。

“你看这张图纸，客户想在芯片涂层区域做一个隔断，我们要想办法做个遮挡设计。”赵吉武目不转睛盯着图纸上的纹路，大脑里飞速勾画起他的方案。

赵吉武来自甘肃，是微电子专业硕士研究生。在他身旁，一间亮着黄色灯光的小屋格外引人注目，透过小屋的透明窗，两台仪器一左一右被摆放在这间面积约20平方米的屋子里。“我们要实现方案，就要用到右边那台光刻机。”赵吉武介绍道。

光刻机在泛半导体领域内大名鼎鼎，通俗来讲就是制造芯片的核心装备，也被誉为“微观世界的艺术家”。光刻机的作用就是在紫外光源与透镜的交错中，掩膜版上的精细图案如魔法般地被转移到硅晶源上，类似照片冲印的技术。

而被光刻好的晶源则被切割出成百上千的芯片，芯片越小，也越精密，性能也越好。光刻机的应用范围大到不可想象，是所有半导体制造设备中技术含量最高的设备。

成立于2018年7月的海先院，是由海宁市人民政府和中国科学院半导体研究所“联姻”共建，2021年，海先院搬迁至鹃湖科技创新园，建立了半导体工艺实验室，引进了光刻机、刻蚀机、电子束与热阻蒸发镀膜机等高端设备仪器，组建了在宽禁带半导体、新能源汽车、智能传感、智能医疗电子技术等领域的专业化研发团队，更是浙江省博士后工作站、智能功率集成电路嘉兴市重点实验室，引领了海宁及周边地区泛半导体产业的技术发展。

浙大：科学仪器的资源宝库

2013年，浙大选择了鹃湖畔成立浙江大学国际联合学院（海宁国际校区）（以下简称浙大国际校区）。

所谓“近水楼台先得月”， 浙大来到海宁后，不仅“催生”了鹃湖国际科技城这一高科技平台，也让一颗科创火种燎原了整个海宁。这样一座资源宝库，自然少不了高端的仪器装备。

在浙江大学爱丁堡大学联合学院的科研平台，我们见到了“激光共聚焦显微镜”。它通体白色，仪器主体显微镜部分被覆盖着透明罩子，还配备激光扫描和活细胞工作站。

资料显示，激光共聚焦显微镜是显微镜的一种，能够用于观察各种染色、非染色和荧光标记的组织和细胞等，也可观察研究细胞活体的生长发育特征，甚至还能用于细胞内生化成分的定量分析、光密度统计以及细胞形态的测量，是分子生物学、神经科学、药理学、遗传学等领域中新一代强有力的研究工具。

“这台仪器要保持在一个恒温恒湿洁净的环境里，科研中使用频率很高。”浙江大学爱丁堡大学联合学院的老师告诉我们。

紧接着，在浙江大学伊利诺伊大学厄巴纳香槟校区联合学院的实验室里，我们又见到了一台“双束聚焦离子刻蚀系统”，这台仪器被放在显眼的位置。

资料显示，“双束聚焦离子刻蚀系统”是通过聚焦离子束对离子进行汇聚和扫描，实现对样品表面微纳尺度进行刻蚀加工。这台仪器是在物理学、工程与技术科学基础学科、电子与通信技术领域都得到应用的工艺试验仪器。

浙江大学伊利诺伊大学厄巴纳香槟校区联合学院主要开展电气工程及自动化、电子与计算机工程、机械工程和土木工程等学科教育。“浙大本部校区的师生也会专门过来，用这台仪器开展研究。”

一所久负盛名的高等学府，一座潜力无限的县级城市。在海宁和浙大开启全面战略合作以来，浙大为海宁导入了教育、人才、产业等多方面的高端优质资源，极大地推动了海宁的高质量、国际化发展，极大地提升了海宁的知名度、美誉度。

科研仪器可开放共享

有人说，科学仪器是科学家“窥视世界原始信息数据源头的眼睛”，是科技创新和重大工程建设的“引领者”和“奠基石”。这些被放置在一间间实验室的科学仪器虽不能开口说话，却是科技之崛起不可替代的核心竞争力。

近些年来，高校院所对于尖端的科学仪器从注重“为我所有”变化“为我所用”，开放共享就是对认识发生的根本转变。

在浙大采访中，我们了解到，只要通过网上预约，海宁校区的许多高端科学仪器都可对社会开放共享。

“海宁已经在嘉兴率先搭建科研仪器设备资源共享库，先后与浙江大学、中国科学院等高校院所开展深度合作，把碎片化、孤岛化的科技资源打通开放。”海宁市科技局相关负责人表示。

比如，从上海搬迁到海宁的浙江信测通信就是其中之一，已经与浙江大学伊利诺伊大学厄巴纳香槟校区联合学院达成深度合作，利用学院实验室科研设备资源共建“浙江大学电磁环境实验室（海宁）”，可开展5G通信、车联网、电磁场校准等领域科研检测创新活动，有效降低企业研发检测成本，激发创新活力。

据了解，共享科研仪器总计214台，总价值近2亿，成为了科技创新的重要基础保障。“我市将重点推动科研平台与本地企业深度合作，发挥浙大国际校区校内前沿基础研究与校外产业化应用研究，强化科研平台对我市企业在研发创新上的引领和支撑作用。”市科技局相关负责人表示。

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